Влох Ростислав Орестович

Еліпсометрія ультратонких плівкових структур

2017

Влох Р. О. Еліпсометрія ультратонких плівкових структур [Текст]: монографія / Влох Р. О., Коструба А. М.; Ін-т фіз. оптики ім. О. Г. Влоха. - Львів: Вид-во Ін-ту фіз. оптики ім. О. Г. Влоха, 2017. - 293 с.: іл.

К3-63018

Монографію присвячено розробці нових принципів еліпсометрії і еліпсометричних методів вимірювання параметрів ультратонких поверхневих шарів з товщиною меншою 20 нм. На основі встановлених закономірностей еліпсометричного відгуку вирішено проблему незалежного визначення параметрів ультратонких прозорих плівкових структур в умовах сильного кореляційного зв'язку між цими параметрами, що дозволило суттєво підвищити точність отримуваного результату. Запропонована методика розрахунку середньоквадратичної похибки параметрів поглинаючої плівки, яка дозволяє об'єднати аналіз чутливості еліпсометричних вимірювань із кореляційним аналізом та спрощує процедуру оптимізації умов еліпсометричного експерименту.

Для наукових та інженерно-технічних працівників, аспірантів та студентів фізичних спеціальностей вищих навчальних закладів.

Фонд основного книгосховища
Надійшло у червні 2017

 

Останні надходження

Докінз Річард
Шоломова Софья Богдановна
Семендяк Вадим Михайлович
Сенченко М. І.
Лящинська Юля
Старк Ульф
 

Пошук

Пошук за назвою, автором або роком видання